本技術(shù)涉及晶圓切割設(shè)備，尤其涉及一種晶圓切割用防濺射設(shè)備。
背景技術(shù)：
1、刀片切割是指利用金剛石刀片對(duì)晶圓進(jìn)行切割的工藝，這是一種純粹的物理切割來(lái)分裂晶圓，一般厚度100um以上的晶圓適用于該劃片方式，金剛石刀片在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)沿切割道移動(dòng)，將晶圓完全切透，同時(shí)會(huì)使用水來(lái)冷卻刀片和晶圓，減少熱損傷以及帶走切割產(chǎn)生的碎屑，但仍會(huì)有部分物質(zhì)在切割過(guò)程中向外濺射，不論是對(duì)工作生產(chǎn)環(huán)境，還是周邊的工作人員，都可能造成潛在的不良影響，故需要設(shè)計(jì)專門的晶圓切割用防濺射設(shè)備用來(lái)解決此問(wèn)題，然而，現(xiàn)有的晶圓切割用防濺射設(shè)備普遍存在以下技術(shù)問(wèn)題：
2、對(duì)現(xiàn)有的晶圓切割工作臺(tái)重新加裝防濺射裝置時(shí)，施工比較困難，對(duì)原晶圓切割工作臺(tái)改造較大，且加裝的防濺射裝置采用的零件，其采購(gòu)成本較高，增加了企業(yè)營(yíng)運(yùn)壓力；
3、基于此，提出一種可解決上述問(wèn)題的晶圓切割用防濺射設(shè)備。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為解決晶圓切割設(shè)備濺射的技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種晶圓切割用防濺射設(shè)備。
2、本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：一種晶圓切割用防濺射設(shè)備，包括底座，所述底座的上側(cè)固定連接有承重板，所述承重板的一側(cè)固定連接有切割臺(tái)，所述切割臺(tái)上開(kāi)設(shè)有適配槽，所述適配槽內(nèi)滑動(dòng)連接有防濺射透明罩，所述防濺射透明罩位于切割臺(tái)切割中心區(qū)域外圍處，所述防濺射透明罩的下方設(shè)置有對(duì)防濺射透明罩進(jìn)行限位與支撐的滑桿滑套機(jī)構(gòu)，所述承重板的一側(cè)設(shè)置有使防濺射透明罩上、下往復(fù)移動(dòng)的透明罩升降機(jī)構(gòu)，所述承重板的上端設(shè)置有對(duì)晶圓進(jìn)行空間多角度切割的晶圓切割機(jī)構(gòu)。
3、作為上述方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述滑桿滑套機(jī)構(gòu)包括與底座的上側(cè)固定連接的多個(gè)滑桿，多個(gè)所述滑桿的上端分別滑動(dòng)連接有限位滑筒，多個(gè)所述限位滑筒的上側(cè)與防濺射透明罩下側(cè)共同固定連接，多個(gè)所述限位滑筒呈圓周陣列分布。
4、作為上述方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述透明罩升降機(jī)構(gòu)包括與靠近承重板一側(cè)的兩個(gè)限位滑筒同時(shí)固定連接的連板，所述承重板靠近連板的側(cè)面設(shè)置使連板上、下往復(fù)移動(dòng)的相向齒板機(jī)構(gòu)。
5、作為上述方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述相向齒板機(jī)構(gòu)包括在承重板下側(cè)開(kāi)設(shè)的兩個(gè)卡槽，兩個(gè)所述卡槽的內(nèi)側(cè)分別滑動(dòng)連接有卡板，兩個(gè)所述卡板的外側(cè)分別固定連接有一號(hào)齒板和二號(hào)齒板，所述二號(hào)齒板的一側(cè)與連板的一側(cè)固定連接，所述一號(hào)齒板和二號(hào)齒板中間共同嚙合有齒輪，所述齒輪與承重板的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述一號(hào)齒板的下端設(shè)置有使一號(hào)齒板沿卡槽上、下往復(fù)滑動(dòng)的鋼絲拉繩機(jī)構(gòu)。
6、作為上述方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述晶圓切割機(jī)構(gòu)包括與承重板上端固定連接的多軸驅(qū)動(dòng)器組件，所述多軸驅(qū)動(dòng)器組件的移動(dòng)輸出端設(shè)置有切割刀組件。
7、作為上述方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述鋼絲拉繩機(jī)構(gòu)包括與承重板一側(cè)固定連接的一號(hào)擋板，所述一號(hào)擋板的上側(cè)與一號(hào)齒板的下側(cè)之間設(shè)置有彈簧，所述承重板的一側(cè)固定連接有二號(hào)擋板，所述二號(hào)擋板與一號(hào)擋板之間連通設(shè)置有橡膠筒，所述橡膠筒的內(nèi)部貫通設(shè)置有拉絲，所述拉絲的一端穿過(guò)彈簧與一號(hào)齒板的下側(cè)固定連接，所述拉絲的另一端與切割刀組件的側(cè)面固定連接。
8、相比現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型的有益效果在于：
9、1、本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置透明罩升降機(jī)構(gòu)，當(dāng)切割刀組件切割晶圓時(shí)，防濺射透明罩升起進(jìn)行遮擋，當(dāng)切割完畢時(shí)，防濺射透明罩下降并隱藏，防濺射透明罩不占用切割臺(tái)上方空間，對(duì)原先晶圓切割精度不產(chǎn)生影響，簡(jiǎn)單實(shí)用。
10、2、本實(shí)用新型通過(guò)鋼絲拉繩機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)防濺射透明罩升降，純機(jī)械式設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)可靠且穩(wěn)定性強(qiáng)，此外，本防濺射設(shè)備整體所用零件采購(gòu)成本低，有利于企業(yè)生產(chǎn)降低運(yùn)營(yíng)成本。
1.一種晶圓切割用防濺射設(shè)備，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的上側(cè)固定連接有承重板(9)，所述承重板(9)的一側(cè)固定連接有切割臺(tái)(6)，所述切割臺(tái)(6)上開(kāi)設(shè)有適配槽(5)，所述適配槽(5)內(nèi)滑動(dòng)連接有防濺射透明罩(4)，所述防濺射透明罩(4)位于切割臺(tái)(6)切割中心區(qū)域外圍處，所述防濺射透明罩(4)的下方設(shè)置有對(duì)防濺射透明罩(4)進(jìn)行限位與支撐的滑桿滑套機(jī)構(gòu)，所述承重板(9)的一側(cè)設(shè)置有使防濺射透明罩(4)上、下往復(fù)移動(dòng)的透明罩升降機(jī)構(gòu)，所述承重板(9)的上端設(shè)置有對(duì)晶圓進(jìn)行空間多角度切割的晶圓切割機(jī)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種晶圓切割用防濺射設(shè)備，其特征在于，所述滑桿滑套機(jī)構(gòu)包括與底座(1)的上側(cè)固定連接的多個(gè)滑桿(2)，多個(gè)所述滑桿(2)的上端分別滑動(dòng)連接有限位滑筒(3)，多個(gè)所述限位滑筒(3)的上側(cè)與防濺射透明罩(4)下側(cè)共同固定連接，多個(gè)所述限位滑筒(3)呈圓周陣列分布。
3.如權(quán)利要求1所述的一種晶圓切割用防濺射設(shè)備，其特征在于，所述透明罩升降機(jī)構(gòu)包括與靠近承重板(9)一側(cè)的兩個(gè)限位滑筒(3)同時(shí)固定連接的連板(18)，所述承重板(9)靠近連板(18)的側(cè)面設(shè)置使連板(18)上、下往復(fù)移動(dòng)的相向齒板機(jī)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求3所述的一種晶圓切割用防濺射設(shè)備，其特征在于，所述相向齒板機(jī)構(gòu)包括在承重板(9)下側(cè)開(kāi)設(shè)的兩個(gè)卡槽(16)，兩個(gè)所述卡槽(16)的內(nèi)側(cè)分別滑動(dòng)連接有卡板，兩個(gè)所述卡板的外側(cè)分別固定連接有一號(hào)齒板(10)和二號(hào)齒板(17)，所述二號(hào)齒板(17)的一側(cè)與連板(18)的一側(cè)固定連接，所述一號(hào)齒板(10)和二號(hào)齒板(17)中間共同嚙合有齒輪(11)，所述齒輪(11)與承重板(9)的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述一號(hào)齒板(10)的下端設(shè)置有使一號(hào)齒板(10)沿卡槽(16)上、下往復(fù)滑動(dòng)的鋼絲拉繩機(jī)構(gòu)。
5.如權(quán)利要求4所述的一種晶圓切割用防濺射設(shè)備，其特征在于，所述晶圓切割機(jī)構(gòu)包括與承重板(9)上端固定連接的多軸驅(qū)動(dòng)器組件(8)，所述多軸驅(qū)動(dòng)器組件(8)的移動(dòng)輸出端設(shè)置有切割刀組件(7)。
6.如權(quán)利要求5所述的一種晶圓切割用防濺射設(shè)備，其特征在于，所述鋼絲拉繩機(jī)構(gòu)包括與承重板(9)一側(cè)固定連接的一號(hào)擋板(15)，所述一號(hào)擋板(15)的上側(cè)與一號(hào)齒板(10)的下側(cè)之間設(shè)置有彈簧(14)，所述承重板(9)的一側(cè)固定連接有二號(hào)擋板(19)，所述二號(hào)擋板(19)與一號(hào)擋板(15)之間連通設(shè)置有橡膠筒(12)，所述橡膠筒(12)的內(nèi)部貫通設(shè)置有拉絲(13)，所述拉絲(13)的一端穿過(guò)彈簧(14)與一號(hào)齒板(10)的下側(cè)固定連接，所述拉絲(13)的另一端與切割刀組件(7)的側(cè)面固定連接。