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一種一維納米線陣列結(jié)構(gòu)聚偏氟乙烯的制備方法本發(fā)明屬于微納制造，涉及一種一維納米線陣列結(jié)構(gòu)聚偏氟乙烯的制備方法。近年來，由于一維納米線陣列結(jié)構(gòu)相對于薄膜在光電子器件、傳感器、俘能器方面具有優(yōu)異的應(yīng)用潛能而成為研究熱點(diǎn)。制備一維納米線陣列有兩種方法：“自上而下”法和“自下而上”...

本發(fā)明涉及微機(jī)電裝置的控制，具體地，是一種單路信號控制的微機(jī)電裝置以及這種微機(jī)電裝置的控制方法。、光學(xué)器件中廣泛使用微機(jī)電裝置(micro?electro?mechanical?system，mems)，目前常用的微機(jī)電裝置大多是靜電驅(qū)動(dòng)的微機(jī)電裝置，這種微機(jī)電裝置設(shè)置有上梳齒和下梳齒，且...

本發(fā)明涉及一種封裝方法，尤其是一種mems電場傳感器的批量封裝方法及封裝設(shè)備。、mems電場傳感器主要應(yīng)用于國防、航空、航天、氣象、石油化工、靜電等領(lǐng)域，并在上述領(lǐng)域均是發(fā)揮了及其重要的作用。、mems電場傳感器的封裝工藝是影響mems電場傳感器實(shí)用化的關(guān)鍵技術(shù)，近年來倍受關(guān)注。在現(xiàn)有的封...

本發(fā)明涉及傳感器，尤其涉及一種基于tgv技術(shù)的mems傳感器及其封裝方法。、mems(micro-electro-mechanical?systems，微型電子機(jī)械系統(tǒng))傳感器是基于微機(jī)電系統(tǒng)工藝集成化制造的傳感器，其具有靈敏度高、準(zhǔn)確度高、體積小、性能穩(wěn)定等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、工業(yè)...

本發(fā)明涉及一種采用微流道散熱的埋入式功率模塊封裝方法。、隨著電子設(shè)備對功率密度和小型化的需求不斷增加，埋入式這種小型化的先進(jìn)封裝形式正逐漸取代傳統(tǒng)封裝形式。但小型化帶來的高散熱需求目前并沒有被解決。傳統(tǒng)功率模塊與散熱器分離，并且散熱器與模塊之間的導(dǎo)熱硅脂嚴(yán)重妨礙了熱量的散出。本發(fā)明提供了一...

本發(fā)明實(shí)施例涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種mems器件及其形成方法、以及電子設(shè)備。、微機(jī)電系統(tǒng)(mems，micro-electro-mechanical?system)是以微電子、微機(jī)械及材料科學(xué)為基礎(chǔ)，研究、設(shè)計(jì)、制造、具有特定功能的微型裝置。微機(jī)電系統(tǒng)是多種學(xué)科交叉融合具有戰(zhàn)略意義...

本發(fā)明涉及氣體傳感器，具體涉及一種大尺寸mems微熱板及其制備方法和應(yīng)用。、氣體檢測在工業(yè)生產(chǎn)、醫(yī)療監(jiān)測、大氣污染防治、密閉空間空氣質(zhì)量檢測、燃油車尾氣檢測以及新能源汽車安全防護(hù)等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。隨著科技的不斷進(jìn)步，氣體傳感器正朝著小型化、智能化、低功耗化的方向發(fā)展。其中，mems(微機(jī)電系...

本發(fā)明涉及一種用于對生物樣品的靶核酸鏈進(jìn)行測序的支持物。此外，本發(fā)明涉及一種包括多個(gè)支持物的支持網(wǎng)絡(luò)以及一種用于對靶核酸鏈進(jìn)行測序的方法。、下一代測序（ngs）是指幾種高通量dna測序方法，這些方法對生命科學(xué)的進(jìn)展產(chǎn)生了深遠(yuǎn)影響。在由illumina開發(fā)的第一種ngs技術(shù)出現(xiàn)之前，dna測...

本發(fā)明涉及緊湊型電子器件的散熱設(shè)備，尤其涉及一種mems芯片散熱器。、緊湊型移動(dòng)設(shè)備迫切需要更高效的冷卻系統(tǒng)，例如g連接，空間計(jì)算，高分辨率視頻和游戲，人工智能的邊緣應(yīng)用等，使得像智能手機(jī)等對體積和質(zhì)量敏感的設(shè)備，其散熱能力成為制約性能的主要瓶頸。、傳統(tǒng)的散熱風(fēng)扇雖然具有較好的散熱效果，但...

本發(fā)明屬于一種利用polyimide(pi)為柔性基底的納米斷裂結(jié)自愈合實(shí)現(xiàn)方法，涉及有機(jī)材料、、半導(dǎo)體、芯片集成電路、金屬自愈合研究等諸多領(lǐng)域。、隨著硅基芯片尺寸的小型化發(fā)展，其內(nèi)部集成電路線寬已達(dá)到百納米級別。在此情況下，由于各種因素比如芯片強(qiáng)制形變的機(jī)械力、電路過高電流引起的熱效應(yīng)、...

本發(fā)明屬于電場動(dòng)態(tài)調(diào)控，特別是涉及一種外源能量調(diào)控表面電場構(gòu)型的方法、系統(tǒng)及應(yīng)用。、電場由于其非接觸、高精度調(diào)控微觀物質(zhì)行為的能力，成為實(shí)現(xiàn)納米級結(jié)構(gòu)制造的核心手段。例如，利用電場誘導(dǎo)沉積或刻蝕技術(shù)可精構(gòu)建微機(jī)電系統(tǒng)或光學(xué)器件；借助電泳或電潤濕效應(yīng)，能在微流控芯片中實(shí)現(xiàn)細(xì)胞、液滴的操控與定...

本發(fā)明涉及一種跨臺(tái)階mems芯片電極層的制備方法，屬于微機(jī)電系統(tǒng)(mems)器件加工領(lǐng)域。、具有諧振結(jié)構(gòu)的mems器件如mems慣性器件、振蕩器、濾波器等對器件的氣密性有較高的要求。為了實(shí)現(xiàn)氣密性封裝，通常采用具有三層硅結(jié)構(gòu)的圓片級真空封裝工藝。三層硅結(jié)構(gòu)分別為具有電信號連接功能的襯底層，...

一種微型器件及用于該微型器件的封裝模具本實(shí)用新型涉及一種封裝模具，尤其涉及一種用于微型器件的封裝模具。本實(shí)用新型同時(shí)涉及一種由該封裝模具封裝成型的微型器件。微型器件是包含一個(gè)或一個(gè)以上多個(gè)活動(dòng)的組件，可多種材料組成的結(jié)構(gòu)，常常要處于高溫、高濕或酸堿性惡劣的環(huán)境中工作，微型器件與外部...

一種離面靜電驅(qū)動(dòng)器及其制作方法本發(fā)明涉及微機(jī)電系統(tǒng)(MicroelectromechanicalSystems，MEMS)領(lǐng)域，特別是關(guān)于一種基于梳齒驅(qū)動(dòng)的低驅(qū)動(dòng)電壓離面靜電驅(qū)動(dòng)器。采用MEMS技術(shù)實(shí)現(xiàn)的靜電驅(qū)動(dòng)器由于具有體積小、響應(yīng)快、可靠性高等優(yōu)點(diǎn)，在自適應(yīng)光學(xué)例如微變形鏡等領(lǐng)...

高縱橫比MEMS器件及其形成方法本公開內(nèi)容主要涉及半導(dǎo)體制造方法和結(jié)構(gòu)，更具體地來說，涉及使用HF氣相蝕刻工藝形成具有固定橫向電極的MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))器件。MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)在半導(dǎo)體制造工業(yè)中變得非常普遍。發(fā)現(xiàn)在很多應(yīng)用中利用MEMS器件(由電驅(qū)動(dòng)的非常小的機(jī)械器件)。...

一種用于長玻璃柱體陽極鍵合的自動(dòng)化鍵合設(shè)備本實(shí)用新型涉及電子元器件的鍵合，具體涉及一種用于長玻璃柱體陽極鍵合的自動(dòng)化鍵合設(shè)備。MEMS技術(shù)是在IC技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，但MEMS器件具有多樣性和復(fù)雜性，主要表現(xiàn)在：（1）功能的多樣性，有光學(xué)MEMS、生物MEMS、射頻MEM...

本發(fā)明涉及傳感器封裝，具體為一種氣體傳感器封裝方法及傳感器。、氣體傳感器是一種能夠進(jìn)行氣體分析與檢測的重要傳感器，該器件能夠感知特定氣體并確定其濃度。最常見的有：電阻式氣體傳感器、電容式氣體傳感器和諧振式氣體傳感器，尤其對于需檢測多種氣體的應(yīng)用場景，例如環(huán)境監(jiān)測、工業(yè)安全等，現(xiàn)有封裝技術(shù)難...

本發(fā)明涉及探針，具體涉及一種探針及其加工方法。、隨著微電子測試和半導(dǎo)體檢測技術(shù)的快速發(fā)展，高精度探針的加工工藝面臨前所未有的挑戰(zhàn)。傳統(tǒng)車削或沖壓工藝加工的探針難以滿足微米級精度需求，且存在明顯機(jī)械應(yīng)力，導(dǎo)致針尖變形率高達(dá)％-％，尺寸誤差普遍超過±μm。后續(xù)需化學(xué)拋光修正粗糙度(ra>...

本發(fā)明涉及一種微電子機(jī)械裝置，用于與流體壓力相互作用，其帶有停止器元件，以防止在貼靠在另外的元件上時(shí)損壞排擠器結(jié)構(gòu)。、例如，從us/已知一種mems揚(yáng)聲器，其通常具有平面結(jié)構(gòu)，其中，可振動(dòng)的膜通過下述方式激勵(lì)，使得流體的排擠和/或壓縮垂直于膜平面。這種膜的激勵(lì)典型地借助于壓電效應(yīng)或靜電效應(yīng)...

一種仿壁虎結(jié)構(gòu)粘合劑的制備方法本發(fā)明涉及一種仿壁虎腳微陣列的制備方法。在仿生學(xué)備受關(guān)注的當(dāng)今，一些動(dòng)物的特殊性能使人們驚訝，例如壁虎、蚊子、蒼蠅等超強(qiáng)的吸、脫附能力。研究壁虎腳掌的結(jié)構(gòu)及受力機(jī)理，借鑒其腳掌黏附的黏附機(jī)制，制造出仿壁虎微結(jié)構(gòu)材料，并依此研制的仿壁虎機(jī)器人在故障檢測、...